منصة الرسائل والاطاريح: بناء نظام لتصنيع الالكترونيات واطئ الكلفة

الخلاصة

تبحث هذه الأطروحة في طريقة تصميم وتقييم أجهزة التصنيع الدقيق للإلكترونيات منخفضة التكلفة كوسيلة لتطوير أغشية رقيقة من النحاس والألومنيوم (Cu، Al) على ركائز منفصلة (زجاج، سيليكون، بلاستيك). سمك الفيلم، يتم أيضًا استكشاف طرق سمك الحوسبة والنظر فيها. مناقشة كاملة لتصميم وتشغيل جهاز التفريغ المستخدم في تصنيع أفلام النحاس والألومنيوم. تم تقديم التطور بالإضافة إلى التحسين التالي الذي يمكن إجراؤه. تم استخدام مجهر القوة الذرية (AFM) في دراسة البلورات ودراسة مورفولوجية القوى الذرية المجهرية. ويظهر زيادة الخشونة مع زيادة السماكة. الغرض من تبخير أكثر من مادة والفحص بمجهر القوة الذرية لأكثر من مادة وعلى أكثر من ركيزة هو التأكد من كفاءة الجهاز في ترسيب الأغشية الرقيقة ومعرفة التيارات العالية المطلوبة ومعرفة تعرف على ضغوط الفراغ العالية. لا يحدث أي ترسيب عندما يكون التيار أقل من 115 أ. لا يحدث أي ترسيب عندما يكون وقت الترسيب أقل من 30 دقيقة. ومن خلال النتائج التي تم الحصول عليها ومن خلال المقارنات التي تم إجراؤها مع الأجهزة الأخرى، فإن الجهاز المستخدم يعطي نتائج مماثلة مع تيار أعلى، وضغط أقل، ونظام تبريد أقل تعقيدا، ووحدة إمداد طاقة أكبر. تركز هذه الدراسة أيضًا على تحسين خطوة الطباعة الحجرية الضوئية لزيادة المحاذاة وتنفيذ الأبعاد الحرجة، وهي معلمة جودة لأجهزة أشباه الموصلات. وقد وجد أن الأداء المتوقع للخيار الأمثل قريب من الحد المتوقع للتحسين في النموذج. يتم تطبيق طبقة مقاومة للضوء على المادة المراد نقشها. اعتمادًا على ما إذا كانت مقاومة الضوء المستخدمة إيجابية أم سلبية، تمت إزالة مكونات مقاومة الضوء المكشوفة أو غير المكشوفة أثناء عملية تطوير المقاومة. يتم إنشاء تصميم القناع، ويمكنه إنتاج تصميمات أقنعة مختلفة على نطاق صغير بواسطة برنامج AutoCAD. تتم طباعة تصميم قناع ملف PDF الناتج كفيلم إيجابي. في هذه التجربة، تم استخدام طبقة زجاجية موحدة كركيزة بطول 2.5 سم وعرض 2.5 سم وسمك 0.2 سم. تؤثر عناصر مختلفة، مثل التلوث والالتصاق ومعدل التعرض والحساسية ومصدر التعرض، على أداء مقاوم الضوء